半導體行業(yè):
氮氣:在半導體制造的清洗階段,氮氣被用于沖洗每個通道和管網,清除機器和工具中的氧氣,防止它們受到其他可能污染工藝的氣體影響。另外,由于氮氣在整個過程中使用量巨大,大多數半導體設備現場會保留制氮機。
氧氣:氧氣是一種氧化劑,在半導體制造中用于生長氧化硅層,參與擴散掩膜等工藝中的沉積反應。在蝕刻過程中,可用來清除額外產生的材料殘渣并使蝕刻圖案,還能通過氧化反應中和可能改變產品質量的反應性氣體。
氬氣:主要用于紫外光刻激光器的沉積和蝕刻過程,幫助在半導體芯片上制作小的圖案。在硅片制造期間,可保護硅片上形成的硅晶體,使其在高溫下生長過程中不與氧氣和氮氣發(fā)生潛在反應,還能為金屬的濺射沉積提供非反應性環(huán)境。
氫氣:在光刻階段,氫氣用于與化學品錫反應生成氫化錫,防止其積聚在昂貴的光學器件上。也用于硅和硅鍺的外延沉積以及通過退火過程準備表面等。
太陽能行業(yè):高純氣體是太陽能行業(yè)中的重要原料,主要用于光伏材料的生長和控制反應環(huán)境。例如,在多晶硅和單晶硅的生長過程中,需要使用高純度的氯氫氣體和高純度氧氣等。
科研領域:高純氣體被廣泛應用于物理、化學、材料科學等科研領域。例如,在材料科學研究中,高純氣體可用于制備納米材料、金屬合金、高分子材料等。
醫(yī)療保健行業(yè):
高純度氧氣可用于呼吸治療和高壓氧艙中。
高純氮氣也被用于制造醫(yī)療設備的部件,如針頭和導管等。
航空航天領域:
高純度氮氣可用于飛機發(fā)動機的燃燒室中,確保燃燒效率和質量;還用于燃料電池的制造和測試。
高純氧氣用于燃燒實驗和空間設備的推進系統(tǒng)。
高純度氦氣可用于凈化空間操作中的氫氣系統(tǒng),用作地面和飛行流體系統(tǒng)中的壓力調節(jié)器,以及作為氣象和其他觀測氣球的浮力源。
化學工業(yè):高純氣體被廣泛用于各種化學反應中,如合成新化合物、生產高分子材料等,提供了穩(wěn)定的反應環(huán)境,使化學反應更加有效和可控。
汽車制造行業(yè):高純氬氣被用于焊接工藝和汽車零部件的加工過程,可以提高焊接質量和零部件的精度。
電力行業(yè):六氟化硫是一種無色、無味、無毒的氣體,具有優(yōu)異的絕緣性能和熱傳導性能,常用于電力行業(yè)中作為絕緣介質,用于高壓開關設備和變電站中。