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純度是氮?dú)獾囊粋€(gè)重要技術(shù)參數(shù),按國標(biāo)氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)狻⒓兊透呒兊?jí),它們的純度分別為99.5%(O2≤0.5%),99.99%(O2≤0.01%)和99.999%(O2≤0.001%)。
氮?dú)庹即髿饪偭康?8.08%(體積分?jǐn)?shù)),是空氣的主要成份之一。在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下,氮?dú)饫鋮s至-195.8℃時(shí),變成無色的液體,冷卻至-209.8℃時(shí),液態(tài)氮變成雪狀的固體。
氮?dú)獾幕瘜W(xué)性質(zhì)不活潑,常溫下很難跟其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng),所以常被用來制作防腐劑。但在高溫、高能量條件下可與某些物質(zhì)發(fā)生化學(xué)變化,用來制取對(duì)人類有用的新物質(zhì)。
以空氣為原料,采用低溫精餾分離空氣來制取氮?dú)夂脱鯕?,這是迄今為止工業(yè)上生產(chǎn)氮?dú)夂脱鯕庾顬榻?jīng)濟(jì)實(shí)用的方法。現(xiàn)場(chǎng)制取高純氮?dú)獾纳a(chǎn)工藝??諝饧兓?空氣純化在“熱部”中進(jìn)行。被加工的空氣經(jīng)過過濾器除去灰塵等機(jī)械雜質(zhì),并在空氣壓縮機(jī)中被壓縮到工藝所需要的工作壓力(約0.95MPa)??諝膺M(jìn)入一氧化碳轉(zhuǎn)換器后,在鈀催化劑的作用下,空氣中所含的少量一氧化碳幾乎全部被轉(zhuǎn)換成二氧化碳。壓縮空氣在室溫下冷卻至40℃左右,然后在帶有冷凍機(jī)的空氣冷卻系統(tǒng)中繼續(xù)冷卻到10℃左右,送入到分子篩吸附塔。在分子篩吸附塔中,空氣中含有的二氧化碳和水分被徹底除去。除去了水分、二氧化碳和其他雜質(zhì)的壓縮空氣被送往生產(chǎn)系統(tǒng)的低溫裝置中作進(jìn)一步處理。
冷箱由箱內(nèi)的若干設(shè)備(熱交換器、冷凝蒸發(fā)器、精餾塔、管道及閥門等)和冷箱外殼組成。由于冷箱內(nèi)處于極低溫,因此在冷箱內(nèi)充填了絕熱材料珠光砂。有時(shí)還將冷箱內(nèi)部抽成真空,以提高絕熱效果。加工的壓縮空氣在熱交換器中國被返流的氣體冷卻到接近液化溫度,送入氮?dú)馑南虏俊Mㄟ^低溫精餾,空氣被分離,在氮?dú)馑捻敳康玫礁呒兊?,在氮?dú)馑牡撞康玫礁谎跻嚎?。富氧液空被送入位于氮?dú)馑敳康睦淠舭l(fā)器的蒸發(fā)側(cè),富氧液空的蒸發(fā)使氮?dú)馑敳浚ɡ淠舭l(fā)器的冷凝側(cè))的大部分高純氮?dú)獗焕淠秊榫s過程所必需的回流液,在除去了氫和氖、氦氦等不凝性氣體之后,在氮?dú)馑捻敳恳龅母呒兊跓峤粨Q器中冷卻壓縮空氣后被復(fù)熱,然后送往用戶。
哈爾濱高純氣體高純氮?dú)庥猛救缦拢?/p>
在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
高純氮?dú)猬F(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)裝置采用低溫工藝流程,生產(chǎn)過程中將有冷量損失,有的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置為此配備了氣體膨脹機(jī)產(chǎn)生低溫以補(bǔ)償冷量損失;有的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置雖然采用的仍是低溫精餾流程,但摒棄了補(bǔ)償冷量的機(jī)械設(shè)備膨脹機(jī),取而代之的是采用外部的液氮直接補(bǔ)償?shù)乃璧牡蜏睾?。這種無膨脹機(jī)的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置因減少了機(jī)械故障而提高了裝置運(yùn)行的可靠性。無膨脹機(jī)的高純氮?dú)馍a(chǎn)裝置的液氮補(bǔ)充量約占高純氮?dú)猱a(chǎn)量的3%左右整套高純氮?dú)猬F(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)裝置除了空氣壓縮機(jī)、熱部、冷箱之外,還有一個(gè)重要的部分即液氮(或高純液氮)系統(tǒng)。這個(gè)液氮(或高純液氮)系統(tǒng)有三個(gè)功能;可補(bǔ)償生產(chǎn)過程中的冷損;用氣量的調(diào)峰,氮?dú)馍a(chǎn)裝置停機(jī)是產(chǎn)品氣的備用。
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